| 仪器名称： | 规格型号： |
| 所在单位： | 放置位置： 山东中医药大学 |
| 预约类型： | 开放状态： |
| 仪器负责人： | 联系电话： |
仪器简介
名称：扫描电镜
型号：Quanta 450
介绍：
研究各种各样的材料，并进行结构和成份表征，是目前对扫描电镜的主流应用要求。FEI Quanta FEG系列灵活、通用，足以应对当今人们广博的研究方向这一挑战。
一、 主要优点
1） FEI Quanta 450FEG扫描电镜具有环境扫描技术的高分辨场发射扫描电镜
2） 在各种操作模式下分析导电和不导电样品，得到二次电子像和背散射电子像
3） 很大程度降低样品制备要求:低真空/环境真空技术使得不导电样品和/或含水样品不经导电处理即可直接成像和分析，样品表面无电荷累积现象
4） 专业的“穿过透镜”的压差真空系统，对导电和不导电样品都可进行EDS/EBSD分析，不管是在高真空模式或在低真空模式。稳定的大束流(最大 200 nA)确保能谱及EBSD分析工作的快速、准确
5）FEI Quanta 450FEG扫描电镜可作为一个微观实验室。安装特殊的原位样品台后，在从- 165 °C到1500 °C温度范围内，对多种样品保持其原始状态下进行动态原位分析
6） 对导电样品，可选用减速模式得到表面和成份信息
7） 直观、简便易用的软件，即使电镜新手也能轻易上手
技术参数
1、电子光学
1）高分辨肖特基场发射电子枪；2）优化的高亮度、大束流镜筒；
3）45°锥度物镜极靴，及“穿过透镜”的压差真空系统，加热式物镜光阑；
4）加速电压: 200 V - 30 kV；5）束流:最大200 nA并连续可调；6）放大倍数: 6 x 1,000,000 x (四幅图像显示)
2、分辨率
1）高真空
30kV下0.8 nm (STEM)*；30kV下1.0 nm (SE)；30 kV下2.5 nm (BSE)*；1 kV下3.0nm (SE)
2）高真空下减速模式*
1kV下3.0 nm (BSE)*；1 kV下2.3 nm (ICD)*；200 V下3.1nm (ICD)*
3）低真空
30kV下1.4 nm (SE)；30 kV下 2.5 nm (BSE)；3 kV下3.0nm (SE)
4）环境真空 (ESEM)
30kV下1.4 nm (SE)
3、检测器
1）E-T二次电子探头；2）大视场低真空气体二次电子探头 (LFD)
3）气体二次电子探头 (GSED)；4）样品室红外CCD相机；5）高灵敏度、低电压固体背散射探头*；6）气体背散射探头*
4、真空系统
1）1个 250 l/s 涡轮分子泵, 2个机械泵
2）专业的“穿过透镜”的压差真空系统
3）电子束在气体区域的行程：10 mm或2 mm
4）可升级成无油机械泵
5）2个离子泵
6）样品室真空度 (高真空模式) < 6e-4 Pa；7）样品室真空度(低真空模式) <10 to 130 Pa；8）样品室真空度(环境真空模式) < 10 to 4000 Pa；9）典型换样时间: 高真空模式≤ 150秒；低真空及环境真空模式≤ 270秒 (FEI标准测试程序)
5、样品室
1）左右内径284 mm；2）10 mm分析工作距离；3）8个探测器/附件接口
4）EDS采集角: 35°
6、样品台
1）X/Y = 100 mm;2）Z = 60 mm;3）Z向间隙75mm;4）倾斜：- 5° - + 70°;5）连续旋转360°;6）重复精度: 2 μm (X/Y方向);7）伪全对中样品台
7、样品座
1）多样品座;2）单样品座;3）通用样品座套件*;4）适用于硅片或其它特殊要求的样品座*
8、图像处理器
1）最大6144 x 4096像素;2）图像文件格式：TIFF (8,16 or 24 bit), BMP or JPEG;3）单窗口或四窗口图像显示;4）四活动窗口;5）实时或静态按彩色或按灰度等级信号混合;6）256 帧平均或积分;7）数字动画记录 (.avi格式);8）直方图及图像测量软件;9）DCFI (漂移补偿积分)
9、支持软件
1）SmartSCAN 智能扫描技术;2）蒙太奇图像导航;3）软件温度控制;4）FEI动画生成工具
应用范围
1、生命科学领域
1）干燥微小果实种子叶片等中药材的微观形貌；
2）含水量适中的新鲜组织；
3）粉末；
4）导电/非导电材料；
